先將浸泡過的空白濾膜放入培養皿中烘箱內，烘干后置于干燥皿中自然冷卻稱重，記錄空白濾膜及培養皿的重量。

（1）清洗：將工件置于清洗槽上方，將燒杯的接收器置于洗槽漏斗下方，收集所有的清洗液。打開通風裝置及加壓裝置，手持噴槍開始對工件位置進行清洗（清洗過程應避免清洗液濺出槽外）。使用完畢后，繼續開噴槍將罐內剩余清洗液全部壓出。

 

（2）過濾：將濾膜放在濾杯與砂芯之間夾緊，將待過濾的溶劑倒入濾杯內。過濾應盡可能抽干清洗液，以減少烘干恒重時間，同時防止膜面殘留揮發性清洗液過多而導致烘干時發生危險。

 

（3）烘干：將濾膜連同濾出的雜質一起放入培養皿中，放入烘箱內烘干，結束后置于干燥皿中自然冷卻后稱重兩次。

 

（4）稱量：將經過烘干冷卻的帶有雜質濾膜的培養皿放在天平上稱量，讀數到0.1mg；解體過程中的收集的異物也需進行稱重。過濾后的濾膜與空白濾膜的重量差即為工件雜質重量。

 

（5）清潔度分析：將待檢濾膜使用濾膜夾具置于電動平臺上，依據相關檢測標準中要求的顆粒大小，選用適合的放大倍率及檢測標準。設定掃描區域后，系統自動進行濾膜掃描拼圖，并依據標準對顆粒進行自動分析統計，集成的報告工具自動生成基于標準或客戶模板的標準文檔。